微量水分儀的維護以及保養需要注意的就是硅膠墊的更換，在入口長期使用硅膠墊將使針孔不能收縮，從而會導致大量的水分進入會影響測定，所以需要及時的去更換硅膠墊。另外電解池的磨口保養也需要注意每個七到八天需要轉動一次電解槽的邊緣重新涂上一層薄薄的真空潤滑脂再不容易轉動的時候再重新裝入否則太長時間的話會不容易去掉另外電極的插頭和插座的保養也是非常注意的測量電極和電解電極的插頭和插座可以移動這樣會經常導致接觸不佳需要定期地擦拭避免接觸腐蝕性的液體。

　　主要的是電解池的傾斜，所有的電解槽平的玻璃口準備打開，電解槽，平和干燥，管密封管何以直接用水去清洗，在烤箱中清潔干燥，溫度大概是在80攝氏度左右，自然冷卻就可以，但是電解電極不能用水清洗，可以用無水乙醇清洗，清洗之后需要用吹風機吹干，平時微量水分測定儀的安放需要注意放在避光的位置，甚至溫度建議在五度到35攝氏度之間，不要在高濕度或者失敗動電源的環境下安裝，另外，不要把微量水分測定儀放在有腐蝕性氣體的環境當中。

　　微量水分儀測量方法：

　　1．連接SF6設備

　　將測量管道上螺紋端與開關接頭連接好，用扳手擰緊，關閉測量管道上另一端的針型閥。

　　再把測試管道上的快速接頭一端插入微水儀上的采樣口，將排氣管道連接到出氣口。

　　后將開關接頭與SF6電氣設備測量接口連接好，用扳手擰緊。

　　2．檢查電量

　　本儀器推薦優先使用交流電。

　　使用直流電時，請查看右上角顯示的電池電量，如果電量低于約20%，請關機充電后繼續使用。

　　3．開始測量

　　首先全部打開儀測量管道上的針型閥，然后用面板上的流量閥調節流量，把流量調節到0.5L/M左右，開始測量SF6露點。

　　第一設備測量時間需要5～10分鐘，其后每臺設備需要3～5分鐘。

　　4．存儲數據

　　設備測量完成后，可以將數據保存在儀器中，按“確定”鍵調出操作菜單，具體操作方式見下節內容。

　　5．測量其他設備

　　一臺設備測量后，關閉測量管道上的針型閥和微水儀上的調節閥。將轉接頭從SF6電氣設備上取下。如果需要繼續測量其他設備，按照上面步驟繼續測量下一臺設備。

　　6．測量結束

　　所有設備測量結束后，關閉微水儀電源。